隨著機械加工技術的迅速發展，零件加工精度也從宏觀上的判斷走向了微觀的方向，使原本難以實現的加工需求也隨之發生了變化。因此精密加工是相對的，兩者的邊界並不是一成不變的。本文以超精密零件機加工爲切入點，對其精度的影響因素進行了論述和分析，以期對有關機床的工作有所幫助。

　　20世纪六十年代，随着核电、集成电路、航空航天等行业的迅速发展，对机床的精度要求也越来越高。与精密加工相比，超精密制造技术在加工精度上有了质的飞跃。80年代，其尺寸加工精度可达1x10~8 m，表面处理精度可达1x10~9 m。当然，超精密的工艺要求非常苛刻，其工艺品质受到诸多因素的制约。例如，工件的材料必须均匀、致密、精细，而且必须预先对零件的残余应力进行消除，以确保工件的尺寸，防止機加工后的变形；对于机床来说，导轨的直线和旋转的精度必须达到0.1微米，精密的进给和定位精度必须达到0.01微米；在加工系统上，还必须保证系统误差和随机误差小于0.1微米。

　　对工作环境的影响分析，一个好的工作环境是保证机床加工质量的关键因素，它直接关系到精密加工和超精密零件的加工质量。在超精密工件的实际加工中，空气中的粉尘比磨料的微粒要大，会对機加工表面产生损害，从而影响到磨削的效果，所以在超精密加工之前，必须保证空气的清洁。由于微粒的粒径大于0.5微米，对超精密加工的质量产生了很大的影响，因此，1ft3的颗粒中包含的颗粒直径大于0.5微米，通常被用来确定空气的洁净级别。                        采用超精密加工工艺，其净化级别为100-10000。过滤是最常用的净化方法，人们把它叫做净化室、超净室。一般来说，净化分为两种，一种是整体的，一种是局部的。

　　局部淨化是一種經濟的方法，它是在局部加工區，如工作台等處進行正壓清潔，以阻止外界空氣進入，從而實現清潔的目的。工作人員的頭發、工作服等都會攜帶灰塵，因此，在進入潔淨室前，必須在潔淨室內更換特殊的衣服，並進行風吹，以防止灰塵汙染。